建设单位(用人单位)名称 | 上海凯世通半导体股份有限公司 | ||||
建设单位(用人单位)地址 | 浦东新区金桥镇上海市浦东新区秦桥路211号T71-5幢东侧 | ||||
建设单位(用人单位)联系人 | 朱建锋 | ||||
项目名称 | |||||
项目简介 | 行业类别:制造业/专用设备制造业/电子和电工机械专用设备制造/半导体器件专用设备制造 科学研究和技术服务业/研究和试验发展/工程和技术研究和试验发展 行业代码:C3562(半导体器件专用设备制造)、M7320(工程和技术研究和试验发展) 生产产品及产能:本项目扩建后仍从事离子注入机的生产组装及离子注入工艺的验证。可年增产离子注入机设备30台(扩建后共60台),产品开发部验证环节增加50天(扩建后共100天)。 工艺:离子注入机制造工艺流程:原料检验、系统部件组装、总装、调试、抽查测试、包装出厂 离子注入工艺验证流程:抽真空、掺杂气体离子化、离子束注入、抽真空、清扫。 涉及职业病危害因素:三氟化硼、一氧化碳、磷化氢、氟及其化合物(按氟计)、砷化氢、锑及其化合物、六氟化硫、二氧化锡(按锡计)、乙醇、工频电场、噪声 | ||||
项目组成员 | 项目负责人 | 王美娟 | |||
报告书编写人 | 王永玲 | ||||
报告书参与人 | 李敏锋 | ||||
报告书审核人 | 程艺雯 | ||||
报告书签发人 | 尚隆邦 | ||||
现场调查、采样、检测 | 人员 | 时间 | 建设单位(用人单位)陪同人 | 朱建锋 | |
王永玲、李敏锋、瞿文强、虞露、孟林丹、彭夏丽 | 2024年11月6日~8日 | ||||
现场影像 |